काँच के टुकड़ों से बचें: अपने क्वार्ट्ज ट्यूबों को सुरक्षित रखें
उच्च-लोड वाले सेमीकंडक्टर उपकरणों में, इन्फ्रारेड लैंपों में खराबी होना एक बड़ी समस्या है। ऐसी स्थिति में न केवल मशीन बंद हो जाती है, बल्कि चारों ओर काँच के टुकड़े एवं हैलोजन गैस फैल जाती है। ऐसी स्थिति में पूरा उत्पादन बर्बाद हो जाता है। इसके बाद चैंबर की सफाई में कई घंटे लग जाते हैं। हमने ऐसी स्थितियों से बचने के तरीके ढूँढने में बहुत समय लगाया है।
थर्मल शॉक से बचना
ज्यादातर ट्यूबें इसलिए खराब हो जाती हैं, क्योंकि ऊष्मा समान रूप से वितरित नहीं होती, या ट्यूबों की स्थापना ठीक नहीं होती। हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं; क्योंकि यह तेज गर्मी/ठंड की स्थितियों को सहन कर सकता है। लेकिन वास्तविक रहस्य तो ट्यूबों को सही तरीके से स्थापित करने में ही है। हम फिलामेंटों को बहुत ही सटीक तरीके से फिक्स करते हैं… क्योंकि अगर फिलामेंट थोड़ा भी हिल जाए, तो ट्यूब की दीवारों पर “हॉट स्पॉट” बन जाते हैं… और ऐसी स्थिति में क्वार्ट्ज टूट जाता है। हम पूरी ट्यूब में ऊष्मा को संतुलित रखते हैं, ताकि कोई कमजोर बिंदु न रहे।
मलबे से बचना
अगर कोई ट्यूब खराब हो जाती है, तो हम नहीं चाहते कि उसके मलबे हमारे वेफरों तक पहुँचें। हम इसके लिए दो तरीके अपनाते हैं… पहला, लैंपों के छोरों पर सील लगाना… ताकि फिलामेंट टूटने पर गैस बाहर न निकले। दूसरा, सुरक्षात्मक क्वार्ट्ज स्लीव/शील्ड का उपयोग करना… ऐसा करने से ट्यूब टूटने पर भी मलबा चैंबर में नहीं जाता।
वॉटेज एवं ट्यूबों की आयु का संतुलन
ज्यादा वॉटेज का उपयोग करने से उत्पादन तो तेज हो जाता है… लेकिन इससे क्वार्ट्ज पर अतिरिक्त दबाव पड़ता है। जब ऊष्मा ज्यादा होती है, तो ट्यूब गर्म हो जाती है, एवं इलेक्ट्रोड भी जल्दी ही खराब हो जाते हैं। इसलिए आपको वॉटेज को संतुलित रखना ही होगा… अगर आप बिना रुके ज्यादा वॉटेज देते हैं, तो ट्यूबें खराब हो जाएँगी। मेरी सलाह है कि ऐसी स्थितियों से बचने हेतु प्रीसिजन कंट्रोलर का उपयोग करें… ऐसा करने से वोल्टेज में होने वाले उतार-चढ़ाव से बचा जा सकता है।