फैब्रिकेशन लेवल पर, आपको पता ही होगा कि फोटोरेसिस्ट को गर्म करने के दौरान 1°C का अंतर ही परिणामों को बदलने के लिए पर्याप्त है… ऐसी स्थिति में कई वेफर बेकार हो जाते हैं। हमने इस समस्या को दूर करने हेतु अपने सेमीकंडक्टर-उपयोगी इन्फ्रारेड हीटिंग लैंपों को विकसित किया।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगों का उपयोग करते हैं… इससे ऊष्मा सीधे ही लक्षित सतह तक पहुँचती है… ऐसे में तापमान स्थिर रहता है… और इससे एक्सपोजर/डेवलपमेंट प्रक्रिया में कोई बाधा नहीं आती। ये लैंप क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही उपयोग में आते हैं… और इनकी निगरानी से यह सुनिश्चित होता है कि कोई कण उत्पन्न ही न हो। आउटपुट की विश्वसनीयता 0.5% के भीतर ही रहती है… और 5,000 घंटों से अधिक समय तक भी तापीय स्थिरता 5% से कम ही रहती है।
लिथोग्राफी में इसका क्या लाभ है?
लिथोग्राफी में ऐसी स्थिरता से बेकिंग प्रक्रिया आसान हो जाती है… सीडी नियंत्रण भी बेहतर हो जाता है… और रीवर्किंग की आवश्यकता भी कम हो जाती है… क्योंकि हर बार बेकिंग प्रक्रिया समान ही रहती है। लैंप जल्दी ही निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है… इससे बेकिंग समय कम हो जाता है… और फोटोरेसिस्ट की थर्मल सीमाओं का उल्लंघन भी नहीं होता।
वेफर की सफाई/सुखाने में इसका क्या लाभ है?
नियंत्रित ऊष्मा से सतह पर कम दोष उत्पन्न होते हैं… और ऊर्जा की भी बचत होती है… क्योंकि लैंप केवल लक्षित सतह को ही गर्म करता है… न कि चेंबर की दीवारों को।
व्यावहारिक विवरण…
लैंप की स्थापना बिल्कुल सटीक होनी चाहिए… ऑप्टिकल अलाइनमेंट भी सटीक होना आवश्यक है… आउटपुट में होने वाले उतार-चढ़ावों को रोकने हेतु विशेष पावर कंडीशनिंग आवश्यक है। ये लैंप मानक OEM उपकरणों के साथ ही काम करते हैं… लेकिन थर्मल क्लीयरेंस एवं EMI शील्डिंग का ध्यान रखना आवश्यक है। नियमित रूप से कैलिब्रेशन भी आवश्यक है… खासकर लैंप बदलने के बाद… ताकि तापमान स्थिर ही रहे।