क्लास 100 क्लीनरूम को वास्तव में स्वच्छ रखना
यदि आप क्लास 100 क्लीनरूम चला रहे हैं, तो आपको पहले से ही इसकी कठिनाइयों का अंदाजा होगा। एक छोटा सा धूल कण भी, गलत जगह पर होने पर, पूरे वेफर बैच को बर्बाद कर सकता है। यह वाकई चिंताजनक है।
समस्या यह है कि अधिकांश हीटिंग तत्व वास्तव में गंदे ही होते हैं। ऐसी स्थिति में, जब उनकी आवश्यकता होती है, तब वे गैसें उत्सर्जित करते हैं, या कण छोड़ते हैं। इसीलिए हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज इन्फ्रारेड लैंपों एवं टेफ्लॉन-इन्सुलेटेड वायरिंग का उपयोग करते हैं। यही सबसे अच्छा विकल्प है।
उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग
हम लैंपों में कृत्रिम, उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं। क्यों? क्योंकि यह धात्विक आयनों को बाहर नहीं छोड़ता, एवं गर्म होने पर भी क्रिस्टलीकृत नहीं होता।
ऐसे लैंप छोटी तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड विकिरण उत्सर्जित करते हैं। इसके कारण आप लक्षित तापमान तक तुरंत पहुँच सकते हैं, बिना आसपास की हवा को गर्म किए। चूँकि हवा स्थिर रहती है, इसलिए धूल भी नहीं उड़ती, और वह सीधे सब्सट्रेट पर ही नहीं गिरती।
टेफ्लॉन का उपयोग क्यों?
अधिकांश वायरिंग में PVC या सिलिकॉन का उपयोग किया जाता है। उच्च तापमान वाले वातावरण में, ये सामग्रियाँ पिघलने लगती हैं, या गैसें उत्सर्जित करने लगती हैं। यह अच्छा नहीं है।
हम टेफ्लॉन (PTFE) का उपयोग करते हैं। यह गर्मी को आसानी से सहन कर सकता है, एवं माइक्रो-प्लास्टिक भी नहीं छोड़ता। यह रासायनिक रूप से निष्क्रिय है; इसलिए इसे वैक्यूम या क्लीनरूम में भी उपयोग किया जा सकता है, बिना किसी समस्या के।
कुछ बातें जिनका ध्यान रखना आवश्यक है
उच्च-घनत्व वाले इन्फ्रारेड हीटिंग सिस्टम बहुत तेज़ होते हैं… लेकिन ये छोटे क्षेत्रों में बहुत अधिक गर्मी पैदा करते हैं।
आपको अपने माउंटिंग ब्रैकेटों का ध्यान रखना होगा… उन्हें ऐसी सामग्रियों से बनाना होगा, जो गैसें न उत्सर्जित करें। साथ ही, अपनी कूलिंग प्रणाली पर भी ध्यान देना होगा… यदि लैंप के आसपास का क्षेत्र बहुत गर्म हो जाए, तो आपके विद्युत कनेक्टर जल्दी ही खराब हो सकते हैं।
इन लैंपों का उपयोग
ये लैंप आपके मौजूदा सेमीकंडक्टर सुखाने/विकिरण देने वाले सिस्टमों में आसानी से उपयोग में आ सकते हैं।
क्वार्ट्ज एवं टेफ्लॉन के उपयोग से, पूरा हीटिंग सिस्टम स्वच्छ ही रहता है। आपको आवश्यक ऊर्जा मिल जाती है… एवं आपको धूल की समस्याओं के बारे में चिंता करने की आवश्यकता ही नहीं है।