На виробничій лінії все досить просто: навіть зміна температури на 1°C під час процесу випалювання фотополімеру може призвести до зміни критичних розмірів, що у свою чергу робить багато пластин непридатними для подальшого використання. Ми створили спеціальні інфрачервоні нагрівальні лампи для того, щоб повністю усунути цю проблему.
Що є важливим у будові лампи
Ми використовуємо короткочастотне інфрачервоне випромінювання через кварцову оболонку – це забезпечує пряме нагрівання, швидке та контрольоване. На всій поверхні пластини температура залишається стабільною в межах ±0,1°C, що дозволяє уникнути змін температурного поля, які можуть вплинути на процес експозиції та обробки. Лампи використовуються у чистих приміщеннях класу 1–100, а система контролю гарантує відсутність будь-яких частинок у повітрі. Повторюваність результатів роботи лампи становить не більше 0,5% між циклами, а термічна стабільність – понад 5 000 годин із зниженням потужності менше ніж на 5%.
Чому це корисно для літографії
У літографії така стабільність дозволяє точніше контролювати процес випалювання фотополімеру. Контроль якості пластин покращується, а кількість необхідних корекцій зменшується через стабільність процесу. Лампа швидко досягає заданої температури, тож можна скоротити час випалювання, не перевищуючи допустимі значення температури фотополімеру.
Це також корисно під час чищення та сушіння пластин. Контрольоване нагрівання дозволяє уникнути дефектів на поверхні та проблем, пов’язаних із краями пластин. Крім того, енергія витрачається ефективніше, оскільки лампа нагріває саму пластину, а не стінки камери.
Практичні аспекти, які не можна ігнорувати
Встановлення лампи має бути точним: оптична налаштування мають бути ідеальними, а також необхідна спеціальна система регулювання напруги, щоб уникнути перепадів напруги, які можуть вплинути на роботу лампи. Лампа може працювати зі стандартними пристроями від виробника, але необхідно враховувати термічні умови та заходи захисту від електромагнітних перешкод. Також необхідно проводити регулярну калібрування – особливо після заміни лампи – щоб стабільність параметрів залишалась в межах допусків.