遏制加热器中的热量泄漏
当向半导体设备输入高功率时，产生的热量并不会停留在预定的位置上，而是会四处散播。如果使用普通的加热元件，那么设备的内部壁面就会像海绵一样吸收这些热量，结果就是设备的内壁会变得非常热。这不仅造成了能源的浪费，对于那些需要靠近设备工作的人来说，也是一件麻烦事。没人愿意操作一台外部温度极高的设备。
避免热量四处散播
解决这个问题的关键在于：不要把热量视为一种“云状物”，而应将其视为一束光线。与其使用那种向四周辐射热量的传统加热器，不如使用定向红外线灯。这就好比从普通灯泡换成手电筒一样。通过适当的反射器和涂层，热量可以被集中到目标位置上。由于热量集中在一条直线上，它不会影响到设备的其他部分。这样，晶圆就能保持所需的准确温度，而设备的外壳则不会过热。这样一来，就只有需要加热的部件会被加热，整个房间则不会受到影响。
关键在于精确度
不过，这种红外线灯在极小的空间内就能产生巨大的热量，因此设备的升温速度非常高。但这也带来了一个缺点：因为热量过于集中，所以安装时必须格外小心。如果光源的位置偏差几毫米，就会导致晶圆出现局部过热的情况。因此，必须使用固定牢靠的安装装置。
让操作变得更简单
一旦解决了“内壁过热”的问题，其他问题也就迎刃而解了。无需再担心需要复杂的散热系统或大型风扇来避免操作员被烫伤。这对设备的冷却系统来说也是好事，同时也不必担心设备框架因高温而变形。只要再配上响应迅速的热电偶和PID控制器，就能确保温度不会超出控制范围。这样，工作方式就会更加高效、安全。