MEMS ওয়েফারগুলোকে সঠিকভাবে শুকানো – দূষণের ঝুঁকি ছাড়া
MEMS সেন্সরগুলোকে শুকানোর সময় তাপই একমাত্র উপায় নয়। আসল চ্যালেঞ্জ হলো কণাগুলো থেকে ওয়েফারগুলোকে রক্ষা করা।
যদি আপনি ক্লাস 100 ক্লিনরুমে কাজ করেন, তাহলে আপনি ইতিমধ্যেই জানেন যে একটু অতিরিক্ত গ্যাস বা হিটিং এলিমেন্ট থেকে আসা কণাগুলোই আপনার সমস্ত ওয়েফারগুলোকে নষ্ট করে দিতে পারে। এটা খুবই চাপপূর্ণ কাজ। তাই আমরা উচ্চ-মানের সিন্থেটিক কোয়ার্টজ IR ল্যাম্প ব্যবহার করি।
কোয়ার্টজ কেন গুরুত্বপূর্ণ?
সস্তা কাঁচ বা নিম্ন-মানের কোয়ার্টজ এই ধরনের চাপ সহ্য করতে পারে না। কয়েকবার তাপীয় চক্র শেষ হওয়ার পর এগুলো ভেঙে যায় এবং অণুকণাগুলো বেরিয়ে আসে। এটা ভালো নয়।
আমরা উচ্চ-মানের ফিউজড সিলিকা ব্যবহার করি; কারণ এটা চরম তাপমাত্রাতেও কঠিন অবস্থায় থাকে এবং কোনো গ্যাস নির্গত করে না। আর আকর্ষণীয় বিষয় হলো, IR বিকিরণটি ওয়েফারের পৃষ্ঠের আর্দ্রতাকে সরাসরি অপসারণ করে—ফলে পুরো চেম্বারটি ওভেনে পরিণত হয় না।
ডিজাইনের বিস্তারিত
আমরা এই ল্যাম্পগুলোকে ছোট রাখি, যাতে এগুলো আপনার সেটআপে সহজেই ফিট হয়। কোয়ার্টজ আবরণটি ভালোভাবে সিল করা থাকে, যাতে ফিলামেন্টটি অক্সিডাইজ না হয়—যা সাধারণত দূষণের কারণ হয়। টিউবের ভেতরের হ্যালোজেন চক্রগুলো নিয়ন্ত্রণ করে আমরা ফিলামেন্টটিকে সঠিক অবস্থায় রাখি।
কিন্তু মনে রাখবেন, আপনাকে আপনার ওয়েফারের আকার অনুযায়ী সঠিক পাওয়ার ডেনসিটি বেছে নিতে হবে।
অবশ্য, ওয়াটেজ বাড়ালে শুকানোর প্রক্রিয়া দ্রুত হয়। কিন্তু এতে কুলিং সিস্টেমের উপর অতিরিক্ত চাপ পড়ে। যদি আপনি খুব বেশি চাপ দেন, তাহলে ওয়েফারগুলো ক্ষতিগ্রস্ত হতে পারে। তাই লেন্থ ও ওয়াটেজের মধ্যে সঠিক ভারসাম্য খুঁজে বের করা খুবই গুরুত্বপূর্ণ।
ইনস্টলেশনের কিছু টিপস
এগুলো মূলত বেশিরভাগ MEMS ড্রাইং স্টেশনের জন্য উপযুক্ত। আমরা স্ট্যান্ডার্ড কানেক্টর ব্যবহার করেছি; তাই আপনাকে ওয়্যারিং নিয়ে চিন্তা করতে হবে না।
শুধু মনে রাখবেন: উচ্চ-মানের কোয়ার্টজ খুবই ভঙ্গুর। এটা তাপকে পছন্দ করে, কিন্তু ধাক্কা সহ্য করতে পারে না। ইনস্টলেশনের সময় যদি কোনো যান্ত্রিক ধাক্কা লাগে, তাহলে ছোট ছোট ফাটল তৈরি হতে পারে—যা আপনি দেখতেও পাবেন না।
আর অবশ্যই, লিন্ট-ফ্রি গ্লাভস ব্যবহার করুন। আপনার ত্বক থেকে নির্গত তেলগুলো কাঁচে গরম বিন্দু তৈরি করে; এটা টিউবের দ্রুত ক্ষয়ের কারণ হতে পারে।