Hören Sie auf, Energie an Ihren Wafer-Werkzeugen zu verschwenden!
Das Erhitzen einer Siliziumwafer erfordert Präzision. Doch wer bereits mit herkömmlichen IR-Systemen gearbeitet hat, kennt das Problem: die Verschwendung von Wärmeenergie. Es handelt sich dabei um diese lästige Infrarotenergie, die die Wafer überhaupt nicht erreicht, sondern stattdessen direkt gegen die Innenwände der Vakuumkammer prallt. Schon bald ist die Außenseite der Maschine so heiß, dass sie jemanden verbrennen könnte – und die eingesetzte Energie geht einfach verloren.
Wir lösen dieses Problem, indem wir genau kontrollieren, wohin die Wärme tatsächlich fließt.
Die richtige Ausrichtung des Strahls
Die meisten IR-Lampen strahlen Wärme in alle Richtungen ab – also in einem 360-Grad-Bereich. Bei Wafer-Werkzeugen ist das jedoch unpraktisch. Stattdessen verwenden wir Kurzwellen-IR-Emitter in Kombination mit Reflektoren, die dazu dienen, den Strahl zu bündeln. Stellen Sie sich das wie den Unterschied zwischen einer normalen Glühbirne und einer Taschenlampe vor: Die Energie wird direkt auf die Oberfläche der Wafer gelenkt, sodass sie nicht weiter streut. Das Ergebnis ist eine konzentrierte Wärmezone. Da die Photonen physisch davon abgehalten werden, auf den Gehäusekörper zu treffen, bleiben die Wände der Maschine kühl.
Die praktischen Herausforderungen
Um das zu ermöglichen, verwenden wir Quarzlampen mit hoher Leistungsdichte. Diese Lampen sind äußerst widerstandsfähig und können die hohen thermischen Belastungen verkraften. Achten Sie jedoch darauf, dass Ihre Stromversorgung die speziellen Anforderungen dieser Hochleistungslampen erfüllt.
Allerdings haben Richtungsreflektoren mehr Platzbedarf als einfache Lampen. Man kann sie nicht einfach in ein altes, enges Gehäuse einbauen, ohne die Abstände genau zu überprüfen. Zudem muss die Installation präzise erfolgen. Wenn ein Reflektor auch nur um wenige Millimeter falsch positioniert ist, entsteht an der Wafer eine Hotspot-Stelle – und der Heißvorgang wird sabotiert.
Sicherstellung eines reibungslosen Betriebs
Der Vorteil der gerichteten Beheizung ist, dass man nicht mehr auf die lauten, energieintensiven Kühllüfter angewiesen ist. Dadurch wird der Boden für die Personen, die die Maschine bedienen, sicherer.
Wenn Sie die Lampen anschließen, überprüfen Sie bitte die Kontaktstellen auf Oxidation. Diese Lampen ziehen viel Strom – jede Art von Widerstand am Anschluss kann dazu führen, dass der Anschluss beschädigt wird. Achten Sie außerdem darauf, die Reflektoren sauber zu halten. Ein wenig Staub auf dem Spiegel beeinträchtigt die Fokussierung und lässt die Wärme wieder in die Wände der Maschine strömen.