Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, kennen Sie sicherlich die Probleme, die damit verbunden sind. Ein einziger Staubkorn an der falschen Stelle kann dazu führen, dass ganze Chargen von Wafern unbrauchbar werden. Das ist sehr stressig.
Das Problem ist, dass die meisten Heizelemente im Grunde genommen schmutzig sind. Sie geben Gase ab oder freisetzen Partikel gerade dann, wenn sie eigentlich stabil sein sollten. Deshalb verwenden wir Infrarotlampen aus hochreinem Quarz sowie Kabel mit Teflon-isolierung. Das ist einfach logisch.
Warum hochreiner Quarz?
Wir verwenden synthetischen, hochreinen Quarz für die Lampenhüllen. Warum? Weil dieser keine metallischen Ionen freisetzt und auch nicht kristallisiert, wenn es heiß wird.
Diese Lampen strahlen Kurzwell-Infrarotstrahlung ab. Das ist das Geheimnis: Man kann die gewünschten Temperaturen fast sofort erreichen, ohne die Luft um das Teil zu erwärmen. Da die Luft ruhig bleibt, entstehen keine störenden Konvektionsströmungen, die Staub auf die Substrate bringen könnten.
Warum wir auf Teflon bestehen
Die meisten Kabel bestehen aus PVC oder Silikon. In heißen Umgebungen schmelzen diese Materialien oder geben Gase ab – das ist nicht ideal. Wir verwenden stattdessen Teflon (PTFE). Es kann Hitze ohne Probleme vertragen und gibt keine Mikroplastikpartikel ab. Zudem ist es chemisch inaktiv – man kann es also in Vakuumräumen oder Reinräumen verwenden, ohne sich Sorgen um Kontaminationen machen zu müssen.
Ein paar Dinge, auf die man achten muss
Hocheffiziente Infrarotheizung ist zwar schnell – aber sie erzeugt in kleinen Bereichen sehr hohe Temperaturen. Man muss darauf achten, dass die Befestigungselemente aus Materialien bestehen, die keine Gase abgeben. Auch das Kühlsystem muss beachtet werden: Wenn die Umgebungstemperatur in der Nähe der Lampen zu hoch wird, können die elektrischen Anschlüsse früher versagen, als man möchte.
Einsetzen in die vorhandenen Geräte
Diese Lampen können direkt in Ihre vorhandenen Halbleiterverarbeitungsanlagen eingebaut werden. Durch die Kombination aus Quarzhülle und Teflon-Kabeln bleibt das gesamte Heizsystem sterill. Sie erhalten die benötigte Energie – doch Sie müssen sich keine Sorgen mehr darüber machen, dass Partikel Ihre Produkte ruinieren könnten.