گرمایش با امواج مادون قرمز در مقابل گرمایش با هوای داغ: متوقف کردن زمان در فرآیندهای تولید
وقتی که از گرمایش با هوای داغ به گرمایش با امواج مادون قرمز روی میآورید، در واقع نه تنها یک قطعه را جایگزین میکنید، بلکه کل روش انتقال انرژی به ویفرها را نیز تغییر میدهید.
فکر کنید به هوای تحت فشار؛ سرعت آن کم است. ابتدا باید هوا گرم شود، و سپس آن هوا باید سطح ویفر را گرم کند. همیشه این تأخیر آزاردهنده وجود دارد. اما امواج مادون قرمز این واسطه را حذف میکنند؛ آنها تشعشعات الکترومغناطیسی را مستقیماً به سمت هدف میفرستند. بدون هیچ تأخیری.
هزینه واقعی انتظار
سیستمهای گرمایشی با هوای داغ بسیار پرحجم هستند. برای رسیدن به دمای مطلوب، نیاز به مقدار زیادی هوا وجود دارد؛ این امر باعث میشود زمان لازم برای رسیدن به دمای مطلوب بسیار طولانی شود.
در کارخانههای تولید، هر ثانیه انتظار، معادل از دست رفتن پول است. لامپهای مادون قرمز بلافاصله سطح ویفر را گرم میکنند؛ این امر باعث کاهش این inertانس حرارتی میشود و در نتیجه، زمان پاسخگویی دستگاه بسیار سریع خواهد بود.
چرا سپرهای کوارتز مهم هستند
ما از سپرهای شیشهای کوارتز با خلوص بالا برای محافظت از لامپها استفاده میکنیم. این سپرها دو کار انجام میدهند: اولاً، جلوی رسیدن آلودگیها و مواد ناخواسته به عناصر گرمایشی را میگیرند؛ در نتیجه لامپها زودتر خراب نمیشوند. دوماً، آنها گرادیان حرارتی را کنترل میکنند. کوارتز عالی است؛ زیرا اجازه میدهد تشعشعات مادون قرمز از بین آن عبور کنند، بدون اینکه آنها را جذب کند.
اما مشکل اینجاست که سپر باید به درستی قرار بگیرد؛ اگر فاصله بین لامپ و کوارتز کمی ناصاف باشد، مناطق گرم ایجاد خواهد شد. و مناطق گرم واقعاً مشکلساز هستند؛ زیرا باعث تغییر شکل سطح ویفر میشوند، قبل از اینکه متوجه اتفاقی شوید.
تعادل بین کارایی و هزینه
گرمایش با امواج مادون قرمز دارای قدرت بسیار زیادی است؛ چگالی گرما بسیار بالاست، که برای تولید تعداد بیشتری ویفر بسیار عالی است.
اما این قدرت هزینهای دارد؛ زیرا فشار زیادی بر سیستمهای خنککننده وارد میکند. اگر سیستم خنککننده شما قادر به مقابله با گرمای ناشی از لامپها نباشد، دستگاه دچار مشکلات حرارتی خواهد شد.
این یک تعادل ساده است: شما یک چرخه فرآیندی بسیار سریع دارید، اما باید تلاش بیشتری برای خنک کردن دستگاه انجام دهید.