Chauffage de séchage des plaques de capteurs MEMS
Comment sécher correctement les wafer MEMS (sans risque de contamination)
Lorsque l’on sèche des capteurs MEMS, la chaleur n’est que moitié du...
Audit énergétique pour le séchage en usine
Pourquoi les usines de fabrication de semi-conducteurs abandonnent-elles les fours traditionnels au profit du séchage par rayonnement infrarouge ?
Si...
Panneau infrarouge de séchage de wafer en zones
Sur le site de fabrication, un nœud de 5 nm ne laisse aucune marge d’erreur. Une différence de température de 0,3 °C sur la wafer peut entraîner des...