Comment sécher correctement les wafer MEMS (sans risque de contamination)
Lorsque l’on sèche des capteurs MEMS, la chaleur n’est que moitié du problème. La véritable lutte concerne les particules présentes dans l’air.
Si vous travaillez dans une salle propre de classe 100, vous connaissez bien le problème : un petit écoulement de gaz ou un fragment de matériau provenant d’un élément chauffant suffit pour rendre toute une série de wafer inutilisables. C’est une situation très stressante. C’est pourquoi nous utilisons des lampes à infrarouges en quartz synthétique de haute pureté.
Pourquoi le quartz est si important
Le verre bon marché ou le quartz de mauvaise qualité ne peuvent pas résister à ces conditions extrêmes. Après quelques cycles thermiques, ils commencent à se dégrader et à libérer des particules microscopiques. Ce n’est pas bon du tout.
Nous utilisons donc du silice fusionnée de haute pureté : elle reste solide même à des températures extrêmes et ne libère aucun gaz. Le meilleur côté ? Les rayons infrarouges atteignent directement l’humidité sur la surface du wafer, permettant ainsi d’éliminer l’eau instantanément, sans transformer toute la chambre en four.
Les détails techniques
Nous concevons ces lampes de manière à ce qu’elles puissent être intégrées facilement dans votre installation. L’enveloppe en quartz est hermétiquement scellée afin d’empêcher l’oxydation du filament – c’est généralement là que commence le problème de contamination. En contrôlant le cycle halogène à l’intérieur du tube, nous pouvons maintenir le filament en bon état et éviter l’apparition de fissures.
Mais attention : il faut choisir la bonne densité de puissance en fonction de la taille du wafer. Bien sûr, augmenter la puissance accélère le processus de séchage. Mais cela exerce également plus de pression sur les systèmes de refroidissement. Si vous allez trop loin, vous risquez de provoquer des déformations thermiques. Il s’agit donc de trouver le bon équilibre entre longueur et puissance, afin que la chaleur soit répartie uniformément sur tout le capteur.
Quelques conseils pour l’installation
Ce sont essentiellement des pièces de remplacement compatibles avec la plupart des stations de séchage MEMS. Nous utilisons des connecteurs standards, donc vous n’aurez pas de problèmes avec les câbles.
Un conseil : le quartz de haute pureté est fragile. Il aime la chaleur, mais il déteste être secoué. Un choc mécanique pendant l’installation peut provoquer des micro-fissures que vous ne verrez peut-être même pas.
Et n’oubliez pas d’utiliser des gants sans poils. Les huiles produites par votre peau peuvent créer des points chauds sur le verre, ce qui entraîne rapidement une panne du tube.