
ייבוש וופרי MEMS בצורה נכונה (בלי בעיות של זיהום)
כשמייבשים חיישני MEMS, החום הוא רק חצי מהבעיה. האתגר האמיתי הוא המאבק נגד חלקיקים שונים.
אם אתם עובדים בחדר נקי מסוג Class 100, אתם כבר יודעים את הבעיה: כל חלקיק זעיר שנפלט מהחומר, או חתיכה קטנה של חומר מהרכיבים החמים, יכולים להרוס את כל הוופרים שלכם. זו דרך מתוחה לעבוד. לכן אנו משתמשים בנורות IR מקוורץ ברמת טוהר גבוהה.
למה הקוורץ כל כך חשוב?
זכוכית זולה או קוורץ באיכות נמוכה אינם יכולים לעמוד בעומסים האלו. לאחר מספר מחזורי חימום, הם מתחילים להתפרק ולפלוט חלקיקים זעירים. זה לא טוב.
אנו משתמשים בסיליקה מפושרת ברמת טוהר גבוהה – היא נשארת קשיחה בטמפרטורות גבוהות מאוד ואינה פולטת גזים. הדבר הטוב הוא שקרינת ה-IR פוגעת ישירות בלחות שעל פני הוופר, וכך המים נעלמים מיד, בלי שכל החדר הופך לתנור.
פרטים טכניים של העיצוב
אנו משתמשים בנורות קומפקטיות, כך שהן יכולות להתאים למערכות שלכם. המעטפת של הקוורץ סגורה היטב, כדי למנוע חמצון של החוטים – שזו בדרך כלל הסיבה לזיהום. על ידי שליטה במחזור ההלוגן בתוך הצינור, אנו שומרים על החוטים במצב טוב ומונעים נזקים.
אך חשוב להתאים את עוצמת החום לגודל הוופר שלכם. כמובן, עלייה בעוצמת החום תגרום לחימום מהיר יותר, אך היא גם תגרום ללחץ רב על מערכות הקירור. אם תגזימו, עלול להיווצר עיוות תרמי. המטרה היא למצוא את האיזון הנכון בין האורך לעוצמת החום, כך שהחום יתפלג באופן שווה על כל החיישנים.
כמה טיפים להתקנה
אלו בעצם תחליפים מושלמים לתחנות ייבוש MEMS הקיימות. אנו משתמשים בחיבורים סטנדרטיים, כך שלא תצטרכו להתמודד עם בעיות חיבורים.
רק תשימו לב: קוורץ ברמת טוהר גבוהה הוא שביר. הוא אוהב חום, אך שונא פגיעות. פגיעה מכנית במהלך ההתקנה עלולה לגרום לסדקים זעירים שאולי לא תראו.
ובבקשה, השתמשו בכפפות ללא שיער. השמן מהעור שלכם יגרום להיווצרות נקודות חום על הזכוכית, וזה עלול לגרום לכשל מוקדם של הנורה.