
Smettiamo di riscaldare l’aria: un modo migliore per riscaldare i carrelli utilizzati nelle fabbriche di semiconduttori
Se davvero vogliamo raggiungere gli obiettivi legati alla neutralità carbonica nelle fabbriche di semiconduttori, dobbiamo smettere di sprecare energia. Il principale responsabile di questo spreco sono i tradizionali riscaldatori a convettione. Essi cercano di riscaldare l’intera stanza in cui si trovano i componenti, solo per mantenere stabili questi ultimi. È come riscaldare toda la casa soltanto per mantenere calda una tazza di caffè.
Ecco perché abbiamo optato per lampade a onde infrarosse a breve lunghezza d’onda, integrate direttamente nei carrelli. In questo modo, invece di riscaldare l’aria, il calore viene diretto esattamente dove si trovano le wafer.
Perché le lampade a onde infrarosse funzionano bene
L’aria è un pessimo conduttore di calore. Utilizzando lampade a onde infrarosse possiamo evitare di utilizzare intermediari. Utilizziamo elementi a base di quarzo e ioduro che riscaldano la superficie target in modo istantaneo. È veloce… davvero veloce. Ciò significa che i tempi di riscaldamento diminuiscono, e non è necessario utilizzare grandi quantità di energia per ogni lotto di componenti da riscaldare.
Mantenere l’ambiente pulito
Le stanze pulite richiedono attenzioni particolari: non si può semplicemente inserire qualsiasi tipo di riscaldatore lì dentro, altrimenti si rischiano particelle nocive e problemi legati all’espansione dell’aria. Utilizziamo rivestimenti in quarzo ad alta purezza per mantenere tutto pulito. Inoltre, rivestiamo gli elementi termici per modificare lo spettro termico emesso. In questo modo, il calore raggiunge i componenti senza danneggiare il telaio del carrello.
Inoltre, queste lampade sono progettate per funzionare “su richiesta”: si accendono soltanto quando il carrello si muove. Non è necessario far funzionare il riscaldatore 24/7; l’energia viene utilizzata soltanto quando c’è effettivamente qualcosa da riscaldare.
La parte complicata
Tuttavia, non è tutto così semplice. Le lampade a onde infrarosse emettono molto calore localizzato. Se si utilizzano troppe energie in uno spazio ridotto, si può danneggiare il carrello o attivare gli allarmi presenti nella stanza pulita, a causa dell’espansione troppo rapida dell’aria. Bisogna trovare il giusto equilibrio tra la potenza utilizzata, la quantità di aria presente e le capacità del carrello stesso.
Ma una volta trovato questo equilibrio, si trasforma un consumo energetico costante in uno strumento preciso e efficace. È semplicemente logico.