팹 IR용 전압 조절기

제조 공정에서 포토레지스트를 건조시키는 과정은 단순한 온도 조절 과정이 아닙니다. 이는 수율에 직접적인 영향을 미치는 중요한 과정입니다. 만약 소프트 베이크나 하드 베이크 중에 적외선 히터의 성능이 변동한다면, 웨이퍼의 치수가 변하고, 웨이퍼가 폐기되며, 생산 라인이...