MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법 (오염 문제 없이) MEMS 센서를 건조할 때, 열만으로는 충분하지 않습니다. 진짜 문제는 미세한 입자들입니다. 만약 클래스 100급 청정실에서 작업한다면, 조금이라도 가스가 빠져나오거나 가열 요소에서 미세한 입자들이 나오면...