MEMS 웨이퍼를 올바르게 건조시키는 방법 (오염 문제 없이)
MEMS 센서를 건조할 때, 열만으로는 충분하지 않습니다. 진짜 문제는 미세한 입자들입니다.
만약 클래스 100급 청정실에서 작업한다면, 조금이라도 가스가 빠져나오거나 가열 요소에서 미세한 입자들이 나오면, 전체 웨이퍼가 버려지게 됩니다. 이는 매우 스트레스가 큰 작업 방식입니다. 그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용합니다.
왜 석영이 중요한가?
저가의 유리나 저품질의 석영은 이러한 스트레스를 견딜 수 없습니다. 몇 번의 열 처리가 지나면 파괴되어 미세한 입자들이 발생합니다. 이는 좋지 않은 상황입니다.
우리는 고순도의 융합 규소를 사용하는데, 이는 극한의 온도에서도 단단하게 유지되며 가스를 방출하지 않습니다. 또한 IR 방사선이 웨이퍼 표면의 수분을 직접 태워버리므로, 전체 챔버가 오븐처럼 되는 일도 없습니다.
설계의 세부 사항
우리는 이 램프를 소형화하여 설비에 잘 맞도록 만듭니다. 석영 커버는 밀폐되어 있어서 필라멘트가 산화되는 것을 방지합니다. 필라멘트가 산화되면 오염이 발생하기 쉽습니다. 관 내부의 할로겐 주기를 조절함으로써 필라멘트가 손상되는 것을 방지합니다.
하지만 중요한 점은, 웨이퍼의 크기에 맞는 적절한 전력 밀도를 설정해야 한다는 것입니다. 물론, 와트수를 높이면 가속화될 수 있지만, 이 경우 냉각 시스템에 큰 부담이 갑니다. 너무 과도하게 사용하면 열 변형이 발생할 수 있습니다. 따라서 길이와 와트수 사이의 적절한 균형을 찾아야 합니다.
설치 시 주의사항
이 램프들은 대부분의 MEMS 건조 장비에 그대로 장착될 수 있습니다. 표준 커넥터를 사용하므로 배선에 대한 번거로움도 없습니다.
단, 고순도 석영은 약하기 때문에 열에는 강하지만 충격에는 약합니다. 설치 시 발생하는 기계적 충격으로 인해 미세한 균열이 생길 수 있습니다. 반드시 먼지가 없는 장갑을 사용하세요. 피부에서 나오는 기름 때문에 유리에 열점이 생기고, 이는 램프의 조기 고장을 초래할 수 있습니다.