Menghentikan masalah yang disebabkan oleh pecahnya tiub inframerah dalam proses pemprosesan wafer
Mari kita jujur: keadaan di mana lampu inframerah pecah dalam sistem yang beroperasi pada beban tinggi merupakan bencana sebenar. Ia bukan sekadar masalah mesin yang tidak dapat berfungsi selama beberapa jam sahaja. Masalahnya juga termasuk kerja-kerja pembersihan yang perlu dilakukan.
Apabila tiub kuarsa pecah di atas wafer silikon, serpihan kaca dan gas halogen akan jatuh terus ke atas permukaan wafer tersebut. Ini akan merosakkan wafer tersebut, dan pasukan kerja pula perlu membersihkan seluruh bilik bersih tersebut. Ini merupakan masalah yang sangat menyusahkan.
Itulah sebabnya kami mencipta lampu inframerah khas untuk digunakan dalam bilik bersih ini.
Mengapa tiub tersebut pecah
Biasanya, ia disebabkan oleh gangguan haba atau titik panas yang berlaku di bahagian tertentu. Kami menggunakan kuarsa berkualiti tinggi yang tidak mudah rosak akibat perubahan suhu. Kuarsa ini mampu menahan perubahan voltan secara mendadak tanpa pecah.
Selain itu, ada juga kes di mana filamen lampu menjadi rosak akibat sentuhan dengan dinding tiub. Kami mengatasi masalah ini dengan meletakkan filamen pada kedudukan yang tepat, iaitu pada jarak yang sangat kecil dari dinding tiub. Ini memastikan haba tetap berada di tempat yang sepatutnya.
Mencegah kerosakan
Untuk meningkatkan keselamatan, kami membungkus lampu tersebut dengan lapisan kuarsa yang kuat, atau menggunakan lapisan pelindung khas yang tahan pecah. Ini bertindak sebagai “jaring keselamatan”. Jika lampu di dalamnya rosak, lapisan luar akan menahan serpihan kaca tersebut daripada jatuh ke atas wafer.
Kami juga memperkuat penyambung lampu tersebut. Penyambung yang murah boleh menyebabkan arka elektrik, dan arka elektrik ini akan menghasilkan zarah logam kecil yang boleh masuk ke dalam aliran udara. Kami memastikan titik penyambung tersebut tetap stabil agar persekitaran bilik bersih tetap bersih.
Kompromi yang perlu diterima
Masalahnya adalah, penambahan lapisan keselamatan ini akan menyebabkan sedikit pengurangan dalam transmisi cahaya inframerah. Anda akan melihat penurunan sedikit dalam suhu yang dihasilkan berbanding dengan tiub biasa.
Ia bukan masalah besar, tetapi anda mungkin perlu meningkatkan kuasa lampu atau membiarkan wafer berada dalam suhu tertentu untuk waktu yang lebih lama agar mencapai suhu yang diinginkan. Pastikan bekalan kuasa mampu menanggung beban tambahan tersebut, supaya tiada masalah semasa proses pengeluaran.