Hoe MEMS-wafers op de juiste manier te drogen (zonder vervuiling)
Bij het drogen van MEMS-sensoren is hitte slechts de helft van het verhaal. De echte uitdaging ligt in het voorkomen van deeltjes. Als je werkt in een schone ruimte van klasse 100, weet je al hoe belangrijk het is om vuil te vermijden: één klein beetje uitstoot van gassen of een stukje materiaal dat afbreekt van een verwarmingselement, kan ervoor zorgen dat al je wafers nutteloos worden. Het is een stressvolle manier van werken. Daarom gebruiken we IR-lampen gemaakt van hoogzuiver synthetisch kwarts. Waarom kwarts belangrijk is Goede kwaliteit glas of lagerwaardig kwarts kan deze stress niet aan. Na een paar thermische cycli begint het materiaal te breken en ontstaan er microscopische deeltjes. Dat is natuurlijk niet goed. We gebruiken hoogzuiver gefuseerd silica, omdat dit materiaal zelfs bij extreme temperaturen nog stevig blijft en geen gassen afgeeft. Het leuke is dat het IR-licht rechtstreeks op de vochtige plekken op het oppervlak van de wafer valt. Hierdoor verdwijnt het water onmiddellijk, zonder dat de hele ruimte in een oven verandert. De details van het ontwerp We houden deze lampen compact, zodat ze gemakkelijk in je apparaat passen. De kwartsomhulling is goed afgesloten, zodat het filament niet kan oxideren – wat meestal de oorzaak is van vervuiling. Door het halogeenproces binnenin de lamp onder controle te houden, blijft het filament glad en voorkomen we beschadigingen. Maar er is één belangrijk punt: je moet de vermogensdichtheid goed instellen, afhankelijk van de grootte van de wafer. Het is waar dat meer vermogen het proces versnelt. Maar dit zorgt ook voor meer druk op de koelsystemen. Als je het te ver doet, kan dit tot thermische vervorming leiden. Het gaat erom dat je de perfecte balans vindt tussen lengte en vermogen, zodat de hitte gelijkmatig over het hele sensordisplay wordt verdeeld. Een paar tips voor de installatie Dit zijn in feite directe vervangers voor de meeste MEMS-droogstations. We hebben standaardconnectoren gebruikt, zodat je geen last hebt van problemen met de bedrading. Let erop: hoogzuiver kwarts is broos. Het houdt van warmte, maar het kan niet tegen schokken. Een mechanische schok tijdens de installatie kan microscheuren veroorzaken die je misschien zelfs niet ziet. En gebruik alsjeblieft handschoenen zonder vezels. De oliën op je huid kunnen warmteplekken op het glas veroorzaken, waardoor de lamp eerder kapotgaat.