Как правильно сушить пластины MEMS (без проблем с загрязнениями)
При сушке датчиков MEMS тепло — это лишь половина решения проблемы. Настоящая борьба идет с частицами грязи.
Если вы работаете в чистой комнате класса 100, вы уже знаете, каковы условия работы: даже небольшое количество газов или кусочек материала с нагревательного элемента могут испортить всю партию пластин. Это очень стрессовый способ работы. Поэтому мы используем инфракрасные лампы из высокочистого синтетического кварца.
Почему кварц так важен
Дешевое стекло или низкокачественный кварц не выдерживают высоких температур. После нескольких циклов нагрева они начинают разрушаться и выделять микроскопические частицы. Это плохо.
Мы используем высокочистый фьюзнодированный кремний, потому что он остается твердым при экстремальных температурах и не выделяет газов. Что еще лучше: инфракрасное излучение напрямую воздействует на влагу на поверхности пластины, тем самым мгновенно удаляя воду, без необходимости превращения всей камеры в печь.
Детали конструкции
Мы делаем эти лампы компактными, чтобы они помещались в ваше оборудование. Кварцевая оболочка герметично закрыта, чтобы предотвратить окисление нити — именно здесь обычно возникают проблемы с загрязнениями. Благодаря контролю за процессом работы галогенов внутри лампы, мы сохраняем целостность нити и предотвращаем появление вмятин.
Но есть один момент: необходимо правильно выбрать мощность лампы в зависимости от размера пластины. Конечно, увеличение мощности ускоряет процесс сушки. Но это также увеличивает нагрузку на систему охлаждения. Если перегрузить лампу, может произойти деформация пластины. Все дело в том, чтобы найти оптимальное соотношение между длиной лампы и ее мощностью, чтобы тепло распределялось равномерно по всей поверхности датчика.
Несколько советов по установке
Эти лампы можно использовать в качестве замены для большинства устройств для сушки MEMS. Мы использовали стандартные разъемы, поэтому вам не придется возиться с проводкой.
Только одно предупреждение: высокочистый кварц хрупок. Он любит высокие температуры, но не выносит ударов. Механический удар во время установки может привести к появлению микротрещин, которые могут остаться незамеченными.
И, пожалуйста, используйте перчатки без ворсинок. Масла с кожи создают точки повышенного температуры на поверхности стекла, что может привести к преждевременному выходу лампы из строя.