Wafer İşleme Sürecindeki Felaketleri Önlemek
Dürüst olalım: Yüksek yük altında çalışan bir cihazda kırılan kızılötesi lamba tam anlamıyla bir felakettir. Mesele sadece cihazın birkaç saatliğine durması değil; aynı zamanda temizlik işlemleri de büyük bir sorundur.
Silikon wafer üzerindeki kuvars tüpü patladığında, cam parçaları ve halojen gazları doğrudan waferin üzerine düşer. Böylece ürünleriniz bozulur ve ekibiniz tüm temiz odayı temizlemekle uğraşmak zorunda kalır. Bu, kimse istemeyeceği türden bir durumdur.
İşte bu yüzden temiz oda lambalarımızı bu şekilde tasarladık.
Tüpler Neden Kırılır?
Genellikle bu durum, termal şoklardan veya yoğun ısı noktalarından kaynaklanır. Biz, sıcaklık değişikliklerinde bile zarar görmeyen yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz. Böylece hızlı güç değişikliklerine rağmen tüpler kolayca kırılmaz.
Ayrıca ucuz ürünlerde görülen “yanma” sorunu da vardır. Bu durum, filamentin sarkması veya duvara temas etmesi sonucu oluşur. Biz bunu, filamenti milimetrelerce hassasiyetle merkeze alarak çözüyoruz. Bu küçük toleranslar sayesinde ısı tam da olması gereken yerde kalır.
Dağılmayı Önlemek
Ek bir güvenlik katmanı olarak, lambaları yüksek mukavemetli kuvars kılıflarla kaplıyoruz veya özel, kırılmaya dayanıklı kaplamalar kullanıyoruz. Bu sayede içerideki lamba bozulursa dış katman her şeyi tutar. Böylece waferlerin üzerine cam parçaları düşmez.
Ayrıca konektörleri de güçlendirdik. Ucuz terminallerde ark oluşabilir ve bu durum havadaki metal parçacıkların artmasına neden olur. Bu temas noktalarını sağlamlaştırarak ortamın temiz kalmasını sağlıyoruz.
Eksileri
Burada bir dezavantaj var: Bu güvenlik katmanlarının eklenmesi, kızılötesi ışının bir kısmının engellenmesine neden olur. Tamamen açık bir tüpe kıyasla daha az ısı elde edilir.
Bu büyük bir sorun değil, ancak hedef sıcaklığa ulaşabilmek için güç seviyesini artırmanız veya waferlerin biraz daha uzun süre orada kalmasını sağlamanız gerekebilir. Üretim sırasında sigortaların atlamaması için güç kaynağının fazladan yükü karşılayabileceğinden emin olun.