MEMS wafer’lerini doğru şekilde kurutmak (kirlenme sorunları olmadan)
MEMS sensörlerini kuruturken sıcaklık yalnızca yarı yolda bir faktördür. Asıl mücadele, parçacıklarla mücadeledir.
Eğer Class 100 temizlik odasında çalışıyorsanız, durumu zaten biliyorsunuzdur: Biraz olsun gaz çıkışı veya ısıtma elemanlarından kaynaklanan küçük parçacıklar bile tüm wafer’leri işe yaramaz hale getirebilir. Bu oldukça stresli bir durumdur. İşte bu yüzden yüksek saflıkta sentetik kuvars IR lambalarını kullanıyoruz.
Kuvarsin önemi neden büyük?
Ucuz cam veya düşük kaliteli kuvars, bu tür streslere dayanamaz. Birkaç termal döngüden sonra parçalanmaya başlar ve mikroskobik parçacıklar salgılar. Bu hiç de iyi değildir.
Biz yüksek saflıkta füzyonla elde edilmiş silika kullanıyoruz; çünkü bu malzeme aşırı sıcaklıklarda bile katı kalır ve gaz salmaz. İyi olan yanı ise, IR radyasyonunun wafer yüzeyindeki nemi doğrudan etkisi altına almasıdır. Böylece su anında buharlaşır ve tüm oda fırın haline gelmez.
Tasarımın detayları
Bu lambaları mümkün olduğunca kompakt tutuyoruz ki, cihazınıza kolayca sığabilsinler. Kuvars kılıfı sıkıca kapalı tutulur; böylece filaman okside olmaz. Halojen döngüsünü kontrol ederek filamanın düzgün kalmasını ve çatlakların oluşmasını engelliyoruz.
Ancak şunu unutmamak gerekir: Belirli bir wafer boyutu için doğru güç yoğunluğunu bulmak gerekiyor. Tabii ki, gücü artırmak işlem süresini hızlandırır. Ancak bu durum soğutma sistemlerine de büyük baskı uygular. Fazla baskı uygulandığında termal bozulmalar meydana gelebilir. Önemli olan, uzunluk ve güç arasındaki ideal dengeyi bulmaktır ki böylece ısı tüm sensör dizisi üzerinde eşit olarak dağılSIN.
Montaj için birkaç ipucu
Bunlar, çoğu MEMS kurutma ünitesi için uygun yerine takılabilen parçalardır. Standart konektörler kullandık; bu sayede kablo işleriyle uğraşmanıza gerek kalmaz.
Sadece bir uyarı: Yüksek saflıkta kuvars kırılgandır. Isıya dayanıklıdır, ancak darbelere karşı çok hassastır. Montaj sırasında meydana gelebilecek mekanik darbeler, göremeyeceğiniz mikro çatlaklara yol açabilir.
Lütfen tüysüz eldivenler kullanın. Cildinizden kaynaklanan yağlar cam üzerinde sıcak noktalar oluşturur ve bu da lambanın erken bozulmasına neden olur.