Hãy ngừng lãng phí nhiệt lượng trong các lò nướng dùng để xử lý wafer
Khi thiết kế một lò nướng dành cho phòng sạch, mục tiêu chính là đưa nhiệt từ nguồn phát nhiệt đến wafer. Nghe có vẻ đơn giản, phải không? Nhưng vấn đề là: phần lớn năng lượng được sử dụng lại bị hấp thụ bởi các bức tường của lò, thay vì được sử dụng để làm nóng wafer.
Chúng tôi đã tìm ra cách khắc phục vấn đề này bằng cách sử dụng các tấm phản xạ được phủ lớp vàng. Có lẽ bạn đã từng sử dụng các tấm phản xạ bằng nhôm trước đây rồi. Chúng cũng ổn, nhưng chúng hấp thụ quá nhiều năng lượng. Lớp vàng giúp phản xạ một tỷ lệ lớn ánh sáng hồng ngoại trở lại chính nơi cần thiết – tức là trực tiếp lên bề mặt wafer.
Tại sao chọn vàng?
Hãy tưởng tượng cách hoạt động của bóng đèn hồng ngoại: nó phát ra năng lượng theo mọi hướng. Nếu không có tấm phản xạ, một nửa công suất của bóng đèn sẽ bị lãng phí. Bằng cách phủ một lớp vàng mỏng lên vỏ lò, chúng ta có thể ngăn không cho năng lượng bị lãng phí. Điều này giúp các photon quay trở lại wafer. Kết quả là nhiệt độ được duy trì ổn định trên toàn bộ bề mặt wafer. Bạn sẽ đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn, và quan trọng hơn, nhiệt độ sẽ được duy trì ổn định suốt thời gian xử lý wafer. Không cần phải lo lắng về việc các mép wafer có nóng bằng trung tâm hay không nữa.
Nhược điểm và cách khắc phục
Tuy nhiên, vẫn có một nhược điểm: khi tập trung quá nhiều năng lượng vào một không gian nhỏ, nhiệt độ sẽ tăng lên rất cao. Bóng đèn cũng sẽ bị nóng lên. Nếu không có hệ thống làm mát hiệu quả, các ống thủy tinh trong lò sẽ bị hư hỏng nhanh chóng. Đây là một vấn đề cần được cân nhắc kỹ lưỡng. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống làm mát hoạt động hiệu quả, để các sợi dây tóc trong bóng đèn không bị cháy.
Lắp đặt vào phòng sạch
Điều tốt nhất là những linh kiện này được thiết kế để thay thế trực tiếp cho các linh kiện cũ. Bạn không cần phải tháo dỡ toàn bộ hệ thống. Vì các linh kiện được phủ lớp vàng có hiệu suất cao hơn, bạn có thể giảm tổng công suất tiêu thụ của lò mà vẫn duy trì tốc độ xử lý wafer. Hệ thống thông gió cũng sẽ hoạt động tốt hơn, vì không gian trong phòng sẽ không bị quá nóng.
Một mẹo nhỏ: Hãy kiểm tra lại hệ thống dây điện. Đảm bảo rằng dây điện có khả năng chịu được công suất cụ thể của bóng đèn. Nếu có sự sụt áp, nhiệt độ sẽ không được phân bố đều, và điều này sẽ làm mất đi toàn bộ lợi ích của việc sử dụng lò nướng này.