用于Fab IR的电压稳压器

在制造车间里，光刻胶的烘烤过程并非简单的升温步骤而已。实际上，它直接影响到产品的良率。如果在软烘或硬烘过程中，红外加热器的温度出现波动，那么晶圆的尺寸就会出错，导致晶圆被报废，整个生产流程也会中断。为此，我们设计了专门的电压调节器，以消除这种温度波动带来的影响。即便电网电压不稳定，该调节器仍能保持...