CVD 化学气相沉积 加热器

在制造车间里，CVD反应室内的温度分布并非一个普通的参数——它本身就是整个工艺流程的核心。如果晶圆表面的温度偏差达到1摄氏度，就可能会影响薄膜的应力状态、沉积速率，进而导致关键尺寸控制失准。一旦加热器出现温度偏差，生产流程就会停止。我们设计的CVD红外加热器能够确保温度始终处于现代制造工艺所要求的...