用于晶圆的精密红外传感器

停止让热量白白浪费在晶圆加工设备上 对硅晶圆进行加热时，精度至关重要。不过，如果你们使用过普通的红外线加热装置，就应该知道其中的一个麻烦问题：热量被浪费掉了。那些本应照射在晶圆上的红外线能量，实际上却直接照射到了真空室的内壁上。很快，机器的外壳就会变得非常热，甚至可能烫伤操作人员。这样一来，所有的...