停止使用传统加热方式：更有效的晶圆加热方法 凡是曾在半导体工厂工作过的人，都知道一个难题：需要让晶圆变热，但又不想让整个机器变成一个“烤箱”。 大多数加热器都是向四周散发热量，这种方式既不高效，还会造成混乱。热量会四处扩散，进而渗入设备的内壁，使得昂贵的设备外壳变成巨大的散热体。这不仅会让相关部件...

红外加热与热空气加热：培养碳纳米管的更佳方式 如果你曾经尝试过制造碳纳米管，那你就知道其中的难点所在。为了保持稳定的生长环境，必须找到最佳的温度平衡点。目前大多数传统方法都是依靠热空气循环来实现的。 但说实话，这种方法效率很低。因为依赖对流作用，所以需要花费大量时间等待腔体达到目标温度。这无疑是一...