如何正确干燥MEMS晶圆（避免污染问题） 在干燥MEMS传感器时，热量只是其中一半的因素。真正的挑战在于如何防止颗粒物对晶圆的污染。 如果你在100级洁净室中工作，那么你就知道，哪怕有极少量的气体释放或加热元件产生的微小碎片，都会导致整批晶圆报废。这种工作环境实在令人压力巨大。因此，我们选择使用高...

为什么半导体工厂正在放弃传统烤箱，转而使用红外固化技术？ 如果最近去过半导体工厂，你可能会注意到一个现象：那些体积庞大、结构复杂的对流式烤箱正在逐渐被淘汰。人们开始转向使用红外固化技术。为什么呢？因为为了烘干一小块硅片而加热整个房间，实在是一种浪费。而红外固化技术则可以直接作用于被处理的材料上。正...

在芯片制造车间中，5纳米制程对温度控制的要求极为严格。即使晶圆上仅有0.3℃的温差，也足以导致光刻精度下降，还会在蚀刻后留下残余物。而传统的干燥方式呢？其实效果并不好——晶圆的边缘仍然会有湿气残留。仅依靠旋转来干燥的方法则会浪费溶剂，同时还会因为颗粒问题而令人夜不能寐。 我们设计了一种分区式红外干...