半导体晶圆探针加热器

在晶圆检测过程中，即便只有半度的温度偏差，也足以导致大量良品变成废品，而人们往往在发现问题时已经为时已晚。当热管理要求极为严格、且生产进度不允许出现任何误差时，凭猜测来操作显然是不可行的。 关键技术要点 我们设计的半导体晶圆检测用加热器采用了短波红外发射器，再结合低热容的石英和陶瓷材料。这样的设计...