
वेफर क्योरिंग प्रक्रिया में होने वाली समस्याओं को रोकना
हाई-लोड वाली वेफर क्योरिंग प्रक्रिया में ऐसी ही समस्याएँ होती हैं। जब कोई लैंप खराब हो जाता है, तो यह सिर्फ कुछ मिनटों के उत्पादन हानि की बात नहीं है। अगर क्वार्ट्ज ट्यूब फट जाती है, तो काँच के टुकड़े एवं हैलोजन कण वेफरों पर गिर जाते हैं।
यह वाकई एक भयावह स्थिति है… ऐसी स्थिति में पूरा उत्पादन बर्बाद हो जाता है।
इसे रोकने हेतु हम रिफ्लेक्टर शील्ड का उपयोग करते हैं। यह तो सरल लगता है, लेकिन यह दो काम एक साथ करता है – यह एक भौतिक दीवार के रूप में काम करता है, एवं ऊष्मा को केंद्रित करने में भी मदद करता है।
“सुरक्षा उपाय”
हम रिफ्लेक्टर का उपयोग केवल प्रकाश को परावर्तित करने हेतु ही नहीं करते। हम IR स्रोत को उच्च-शुद्धता वाले एल्यूमिनियम/सोने से बने कवर में रखते हैं। इसे एक “सुरक्षा कवर” के रूप में ही समझें। अगर लैंप दबाव के कारण खराब हो जाता है, तो रिफ्लेक्टर उन कणों को रोक लेता है। इस तरह सिलिकॉन पर कोई कण नहीं गिरता, एवं समस्या भी नियंत्रित रहती है।
ऊष्मा को नियंत्रित करना
इसके अलावा, हमने रिफ्लेक्टरों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वे जितना हो सके अधिक इन्फ्रारेड ऊर्जा को वेफर पर ही भेजें। इससे ऊष्मा का घनत्व बढ़ जाता है, लेकिन लैंप को अत्यधिक ऊर्जा की आवश्यकता नहीं पड़ती। इससे लैंप ठंडा ही रहता है, जो कि एक बड़ा फायदा है।
लेकिन यहाँ एक समस्या है… चूँकि रिफ्लेक्टर ऊष्मा को अंदर ही रोक देता है, इसलिए लैंप में अतिरिक्त ऊष्मा जमा हो जाती है। ऐसी स्थिति में आपको अपने कूलिंग फैनों/वॉटर जैकेटों को उचित रूप से कार्य करने हेतु व्यवस्थित करना होगा। अन्यथा लैंप जल्दी ही खराब हो जाएगा।
टेक्नीशियनों के लिए आसानी
हमने इन रिफ्लेक्टरों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वे आसानी से लैंप में लग सकें। ये लैंप के फोकल पॉइंट से बिल्कुल सही तरीके से जुड़ जाते हैं, इसलिए पूरे वेफर पर समान ऊष्मा प्राप्त होती है।
जब कोई ट्यूब खराब हो जाती है, तो आपको क्योरिंग चैंबर के अंदर जाने की आवश्यकता ही नहीं है… बस पूरा एसेंबली ही बाहर निकाल दें।
यह बहुत ही उपयोगी है… क्योंकि ऐसे में टेक्नीशियनों को चैंबर के बहुत पास जाने की आवश्यकता ही नहीं पड़ती। कोई गंदगी या धूल भी नहीं आती… बस एक साफ एवं तेज़ विनिमय ही होता है।
एक और सुझाव… रिफ्लेक्टरों को हमेशा चमकदार रखें। अगर वे ऑक्सीकृत हो जाते हैं, तो उनकी कार्यक्षमता कम हो जाती है, एवं लैंप को अधिक ऊर्जा खर्च करनी पड़ती है। उन्हें हमेशा चमकदार रखें, ताकि सब कुछ सुचारू रूप से चल सके।