Vermeiden Sie den Wärmeverlust in den Heizkammern Ihres Geräts
Wenn Sie hohe Leistungen in die Halbleiterkomponenten leiten, bleibt die Wärme nicht dort, wo Sie sie haben möchten – sie strahlt nach allen Seiten ab.
Wenn Sie Standardheizelemente verwenden, fungieren die inneren Wände des Geräts im Grunde wie ein Schwamm, der all diese Energie aufnimmt. Dadurch entstehen „heiße Wände“. Das ist nicht nur eine Verschwendung von Energie, sondern auch eine Qual für die Personen, die neben dem Gerät stehen müssen. Niemand mag ein Gerät, das von außen wie ein Ofen wirkt.
Verhindern Sie, dass die Wärme überallhin streut
Der Trick besteht darin, nicht mehr an die Wärme als an eine Art „Wolke“ zu denken, sondern vielmehr als an einen Strahl. Anstelle der herkömmlichen Heizgeräte, die in alle Richtungen strahlen, verwenden wir direktionale Infrarotlampen. Stellen Sie sich das vor wie den Wechsel von einer gewöhnlichen Glühbirne zu einer Taschenlampe. Mit den richtigen Reflektoren und Beschichtungen wird die Energie in eine schmale Linie gelenkt, die direkt auf das Ziel gerichtet ist.
Da der Strahl schmal ist, trifft er nicht auf das Chassis des Geräts. So kann die Wafer auf die genau benötigte Temperatur gebracht werden, während die Außenhülle des Geräts weiterhin kühl bleibt. Sie heizen also nur den gewünschten Teil, nicht den gesamten Raum.
Der Haken: Präzision ist alles
Aber hier kommt der Haken: Diese Infrarotlampen liefern eine enorme Menge an Energie in einem kleinen Raum. Dadurch sind die Aufwärmzeiten äußerst kurz.
Doch es gibt einen Trade-off: Da die Wärme so konzentriert ist, darf man bei der Einrichtung keinen Fehler machen. Wenn eine Lampe nur wenige Millimeter aus der richtigen Position entfernt ist, entstehen heiße Stellen auf dem Substrat. Eine kleine Fehljustierung reicht bereits aus, um die Wafer zu beschädigen. Man braucht also Montagehalterungen, die absolut stabil sind.
Es wird einfacher – wenn man die „heißen Wände“ beseitigt
Sobald man dieses Problem beseitigt hat, wird alles einfacher. Man muss sich keine Sorgen mehr um riesige Wasserkühlsysteme oder überdimensionierte Lüfter machen, damit der Bediener nicht verbrannt wird. Das ist auch gut für die Klimaanlage des Gebäudes – und man muss sich nicht mehr um Verformungen des Maschinengehäuses durch die Hitze sorgen.
Kombinieren Sie das Ganze einfach mit einem schnell reagierenden Thermoelement sowie einem PID-Controller, damit Sie Ihr Ziel nicht überschreiten. So arbeiten Sie auf eine sauberere und sicherere Weise.