赤外線ランプ用アルミリフレクター

ファブフロアにおいて、フォトレジストの焼き付けは単なる任意の熱処理工程ではなく、ライン幅スペックの達成とロット廃棄の境界線である。IRランプがドリフトし始めると、ソフトベイクやハードベイクも連動して影響を受ける。溶剤がきれいに蒸発せず、露光の許容度が崩壊する。この状況でアルミニウムリフレクターの役...