ファブレーションランプ用クォーツガラスシールド

IR加熱とホットエア：ファブでの処理時間を短縮するために ファブでホットエアからIR加熱に切り替えるとき、単に部品を交換するだけではありません。実際にウェーハにエネルギーが届く仕組み全体が変わるのです。 強制送風の場合、空気をあらかじめ温めなければならず、その後でその空気がウェーハの表面を温める必...