省エネ型半導体ヒーター

ガラスの破片が散乱するのを防ぐ：クォーツチューブを無事に保つ方法 高負荷の半導体製造装置において、赤外線ランプが爆発してしまうのは大変な問題です。装置が停止するだけでなく、部品もめちゃくちゃになってしまいます。ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に降り注ぐ姿を想像してみてください。一度爆発すれ...