モリブデン支持型赤外線ランプ

製造現場において、ソフトベイクやウェーハ乾燥の際の熱変動は、単なるボトルネックにとどまりません。それによって重要な寸法が変わり、歩留まりが悪化してしまいます。そこで、モリブデン製の支持体を用いた赤外線ランプを開発しました。これにより、仕様通りの温度プロファイルを維持でき、再現性も高く、部屋の環境に...