序論 ウェーハを処理する際、温度というのは単なる画面上の数値に過ぎません。それは、完璧な製造ができるか、それとも全量が廃棄されるかの分かれ目なのです。だからこそ、私たちはこの温度センサーを開発しました。その目的は、エネルギーの1ワットたりとも、必要な場所で、必要なタイミングに正確に届けることです。...

製造現場では、修理ベンチは任意ではなく、生産ラインに工具が戻る前の最終関門である。わずか1度のズレがウェハのドリフトとして現れる。ヒーターが温度を維持できなければ修理に時間がかかり、工具は稼働停止し、スケジュールに遅れが生じる。ヒーターが汚れていれば、粒子がチャンバー内に入り込み、次のロットにフォ...