製造ラインでは、ソフトベイクとハードベイクというプロセスが重要です。温度制御は単に調整可能な値ではなく、ある一定の条件として扱われます。ウェーハの温度が2℃でも変動するだけで、そのウェーハの寸法に影響が出ます。また、チャンバー内にいるたった一つの粒子だけで、300mmサイズのウェーハが破損してしま...

ライン上では、LPCVD炉は圧力容器のように稼働し、安定した温度、厳密な均一性、そして粒子の逸脱が一切許されない環境を要求する。ポリシリコンまたは窒化物の堆積中に一度でも温度逸脱があると、ロット全体の厚さムラとして現れる可能性がある。ホットスポットは隣接するベークモジュール内のフォトレジストのプロ...