序論 ウェーハを処理する際、温度というのは単なる画面上の数値に過ぎません。それは、完璧な製造ができるか、それとも全量が廃棄されるかの分かれ目なのです。だからこそ、私たちはこの温度センサーを開発しました。その目的は、エネルギーの1ワットたりとも、必要な場所で、必要なタイミングに正確に届けることです。...

製造ラインでは、ソフトベイクとハードベイクというプロセスが重要です。温度制御は単に調整可能な値ではなく、ある一定の条件として扱われます。ウェーハの温度が2℃でも変動するだけで、そのウェーハの寸法に影響が出ます。また、チャンバー内にいるたった一つの粒子だけで、300mmサイズのウェーハが破損してしま...