ASMLリソグラフィーランプのスペア部品

ASMLのリソグラフィーランプのスペア部品：ウェーハを完璧な状態に保つための熱制御技術 要点だけを述べます。もしASMLのステッパーやスキャナーを使用しているなら、その重要性はよく理解しているでしょう。温度は正確にコントロールされなければなりません。わずかな誤差も許されません。 私たちが開発したリ...