半導体ヒーター用熱電対

ヒーターの熱漏れを防ぐ方法 半導体製造装置で高い出力を使うと、その熱は意図した場所に留まらず、あちこちに散らばってしまいます。もし通常のヒーターを使用している場合、装置の内壁はまるでスポンジのように機能し、そのエネルギーをすべて吸収してしまいます。その結果、「熱い壁」ができてしまいます。これはエネ...