ファブツール修理用赤外線ヒーター

製造現場では、修理ベンチは任意ではなく、生産ラインに工具が戻る前の最終関門である。わずか1度のズレがウェハのドリフトとして現れる。ヒーターが温度を維持できなければ修理に時間がかかり、工具は稼働停止し、スケジュールに遅れが生じる。ヒーターが汚れていれば、粒子がチャンバー内に入り込み、次のロットにフォ...