제조 현장에서는 ‘소프트 베이크’와 ‘하드 베이크’가 공정의 흐름을 결정합니다. 온도 조절은 단순히 조절할 수 있는 변수가 아니라, 반드시 준수해야 할 규칙입니다. 웨이퍼의 온도가 2°C만 변해도 중요한 치수들이 변할 수 있으며, 챔버 내의 단 한 개의 미세한 입자만...

라인에서 LPCVD 퍼니스는 압력 용기처럼 작동하며 안정적인 온도, 엄격한 균일성, 그리고 입자 편차가 전혀 허용되지 않는다. 폴리실리콘 또는 나이트라이드 증착 중 단 한 번의 온도 편차도 로트 전체의 두께 불균일로 나타날 수 있다. 인접한 베이크 모듈에서 핫스팟은...