Havayı ısıtmayı bırakın: Yarı iletken üretim tesislerinde ısınmanın daha iyi yolu
Eğer yarı iletken üretim tesislerinde karbon nötralite hedeflerine ulaşmak istiyorsak, enerji israfını durdurmalıyız. En büyük sorun ise geleneksel konveksiyonlu ısıtıcılar. Bu ısıtıcılar, sadece birkaç bileşiğin stabil kalmasını sağlamak için tüm temiz oda alanını ısıtmaya çalışıyor. Bu, sanki sadece bir fincan kahvenin sıcak kalması için tüm evi ısıtmak gibi bir şeydir.
İşte bu yüzden, ısıyı doğrudan wafların bulunduğu yere yönlendiren kısa dalga infraruj (IR) lambalarını kullanıyoruz. Hava yerine, ısıyı tam da wafların bulunduğu yere yönlendiriyoruz.
IR lambalarının işe yaramasının sebebi
Hava, ısıyı çok kötü bir şekilde ileten bir madde. IR lambaları sayesinde aracı elemanlardan kaçınabiliyoruz. Kuvars-halojen elementler kullanarak hedef yüzeye neredeyse anında ısı iletimi sağlanıyor. Bu da hızlı bir süreç demektir. Böylece hazırlık süreleri kısalır ve her parti için gereksiz miktarda enerji tüketilmemiş olur.
Temizliği korumak
Temiz odalar oldukça hassastır. Oraya rastgele bir ısıtıcı koymak mümkün değil; aksi takdirde parçacıklar ve gazlar oluşur. Her şeyin temiz kalması için yüksek saflıkta kuvars kaplamalar kullanıyoruz. Ayrıca, ısı spektrumunu ayarlamak için elementler üzerine özel kaplamalar uygulanıyor. Böylece ısı, taşıma aracının şasisini yanmadan içinden geçebiliyor.
Ayrıca, bu lambalar “isteğe bağlı ısıtma” özelliğine sahip. Lambalar, taşıma aracı hareket ettiğinde sensörlerin verdiği sinyallere göre çalışıyor. Yani 24/7 fırın çalıştırmıyorsunuz; sadece gerçekten ısıtılması gereken şeyler olduğunda enerji kullanılıyor.
Zor olan kısım
Ancak her şey bu kadar basit değil. Yüksek yoğunluktaki IR lambaları çok yoğun ve lokalize bir ısı üretir. Eğer küçük bir alana çok fazla enerji verilirse, taşıma aracı bozulabilir veya temiz oda alarmları devreye girebilir. Wattaj, hava akışı ve taşıma aracının ne kadar enerjiye dayanabileceği arasında doğru dengeyi bulmak gerekiyor.
Ancak bu denge sağlandığında, sürekli enerji tüketimi yerini hassas bir araca dönüşür. Bu gayet mantıklıdır.