Làm thế nào để sấy khô các tấm wafer MEMS một cách hiệu quả (mà không gây ô nhiễm)
Khi sấy khô các cảm biến MEMS, nhiệt độ chỉ là một yếu tố quan trọng thôi. Yếu tố quan trọng nhất chính là việc loại bỏ các hạt bụi có trong môi trường xung quanh.
Nếu bạn làm việc trong phòng sạch loại Class 100, bạn chắc hẳn đã biết rằng một chút khí thoát ra từ vật liệu hoặc một mảnh vụn nhỏ từ bộ phận gia nhiệt cũng có thể khiến toàn bộ lô wafer của bạn trở thành rác thải. Đó là một công việc đầy áp lực. Chính vì vậy, chúng tôi chọn sử dụng các bóng đèn hồng ngoại làm từ thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao.
Tại sao thạch anh lại quan trọng?
Thủy tinh giá rẻ hoặc thạch anh loại kém chất lượng không thể chịu được áp lực cao. Sau vài chu kỳ gia nhiệt, chúng bắt đầu bị phá hủy và tạo ra các hạt bụi cực nhỏ. Điều này rất nguy hiểm.
Chúng tôi sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao vì nó vẫn giữ được tính chất cứng ở nhiệt độ cao và không thải khí ra ngoài. Điều tuyệt vời là bức xạ hồng ngoại có thể tiếp xúc trực tiếp với hơi ẩm trên bề mặt wafer, giúp loại bỏ hơi ẩm ngay lập tức mà không làm cho toàn bộ buồng sấy trở thành một “lò nướng”.
Những chi tiết quan trọng trong thiết kế
Chúng tôi thiết kế các bóng đèn này sao cho chúng có thể được lắp đặt dễ dàng vào hệ thống của bạn. Vỏ bọc bằng thạch anh được đóng kín chặt để ngăn không cho sợi dây tóc bên trong bị oxi hóa – điều này thường là nguyên nhân gây ra ô nhiễm. Bằng cách kiểm soát chu kỳ hoạt động của halogen bên trong ống đèn, chúng tôi giúp sợi dây tóc luôn ổn định và tránh được tình trạng xuất hiện các vết nứt.
Nhưng điều quan trọng là bạn phải chọn đúng mức công suất phù hợp với kích thước của wafer. Tăng công suất lên sẽ giúp quá trình sấy diễn ra nhanh hơn, nhưng đồng thời cũng tạo ra áp lực lớn lên hệ thống làm mát. Nếu bạn ép quá mức, wafer có thể bị biến dạng do nhiệt. Vì vậy, việc tìm ra mức công suất tối ưu là rất quan trọng.
Một vài mẹo khi lắp đặt
Những bóng đèn này có thể thay thế dễ dàng cho các thiết bị sấy MEMS thông thường. Chúng tôi sử dụng các đầu nối tiêu chuẩn, vì vậy bạn không cần phải lo lắng về việc kết nối dây điện.
Lưu ý rằng thạch anh có độ tinh khiết cao rất dễ vỡ. Nó thích nhiệt độ cao, nhưng lại ghét bị va chạm. Một cú sốc cơ học trong quá trình lắp đặt có thể gây ra các vết nứt nhỏ mà bạn có thể không nhận ra được.
Và xin nhớ sử dụng găng tay không chứa bụi. Dầu từ da tay có thể tạo ra những điểm nóng trên bề mặt thạch anh, và đó chính là nguyên nhân gây hư hỏng ống đèn một cách nhanh chóng.