MEMS传感器晶圆干燥加热器
如何正确干燥MEMS晶圆(避免污染问题)
在干燥MEMS传感器时,热量只是其中一半的因素。真正的挑战在于如何防止颗粒物对晶圆的污染。
如果你在100级洁净室中工作,那么你就知道,哪怕有极少量的气体释放或加热元件产生的微小碎片,都会导致整批晶圆报废。这种工作环境实在令人压力巨大。因此,我们选择使用高...
用于晶圆的精密红外传感器
停止让热量白白浪费在晶圆加工设备上 对硅晶圆进行加热时,精度至关重要。不过,如果你们使用过普通的红外线加热装置,就应该知道其中的一个麻烦问题:热量被浪费掉了。那些本应照射在晶圆上的红外线能量,实际上却直接照射到了真空室的内壁上。很快,机器的外壳就会变得非常热,甚至可能烫伤操作人员。这样一来,所有的...
智能传感器封装红外技术
为什么我们要如此重视红外传感器的绝缘性能测试? 我们不会采用“随机抽样”的方式来进行检测。每一个离开我们工厂的红外灯和智能传感器,都会经过100%的耐压测试和绝缘电阻测试。 为什么呢?因为在高功率的红外系统中,哪怕有微小的绝缘缺陷,也会带来严重后果。它不仅会导致灯泡损坏,还可能烧毁整个控制板,或者...
晶圆处理设备用温度传感器
简介 在处理晶圆时,温度并非仅仅是屏幕上显示的数字而已。它实际上决定了生产过程是否顺利——一旦温度控制不当,整批产品都可能报废。正因如此,我们设计了这款温度传感器,其核心目标就是确保每一瓦特的能量都能精确地施加到晶圆上,且时机也恰到好处。
秘诀何在?那就是我们采用的高效黄金涂层,以及我们独特的热量...
氢气传感器制造用加热器
在氢气传感器制造过程中,温度控制至关重要。一旦温度偏离设定值,光刻胶的层结构就会遭到破坏,从而导致产品合格率下降,甚至需要报废整个晶圆。我们设计了这种加热器,以确保每次加热时温度都能保持在精确范围内。
核心优势 该加热器采用石英发射器,能发出短波红外线,因此响应速度快且精确度高。晶圆表面的温度均匀...