标签为“保存”的页面如下 节能型半导体加热器 防止玻璃管破裂:保护石英管完好无损 在高负载的半导体生产环境中,红外灯突然爆炸无疑是一场灾难。这不仅会导致设备停止运转,还会造成一片混乱。想象一下,玻璃碎片和卤素气体直接溅到晶圆上,那么整个批次的产品就都报废了。接下来还要花费数小时来清理整个腔室。我们花了大量时间来研究如何避免这种情况发生。 应对... Read more...
节能型半导体加热器 防止玻璃管破裂:保护石英管完好无损 在高负载的半导体生产环境中,红外灯突然爆炸无疑是一场灾难。这不仅会导致设备停止运转,还会造成一片混乱。想象一下,玻璃碎片和卤素气体直接溅到晶圆上,那么整个批次的产品就都报废了。接下来还要花费数小时来清理整个腔室。我们花了大量时间来研究如何避免这种情况发生。 应对... Read more...