用于制造工具维修的红外线加热器

在晶圆厂车间，维修台不是可选项——它是工具重新投入生产前的最后一道关卡。哪怕偏差一度，也会在晶圆上表现为漂移。如果加热器无法保持温度，维修时间延长，设备闲置，生产计划开始延误。如果加热器脏污，颗粒会进入腔体，下一批次可能出现光刻胶缺陷。在工具维修中，加热器不仅仅是加热部件，它决定了工具能否干净地返...