用于创意工坊的高温炉

在制造车间里，软烘和硬烘过程都是至关重要的步骤——温度控制并非可以通过调节旋钮来实现的，而是一种必须严格遵守的边界条件。如果晶圆在烘烤过程中的温度变化超过2℃，就会导致其关键尺寸发生变化；而腔室中的哪怕一颗微粒都可能毁掉一块300毫米大小的晶圆。我们设计的这种高温炉，就是为了解决这些问题而制造的，...