2026年最畅销的晶圆加热器

在晶圆厂车间，你非常清楚流程：软烘或硬烘过程中温度偏差半度都可能导致关键尺寸偏移，影响良率。2026型晶圆加热器针对我们实际运行的工艺窗口设计——严格的热控、洁净运行，以及班次间稳定的重复性。 核心技术要点 我们采用短波红外，搭配石英卤素光源和映射的闭环分区阵列。结果是在150–300 mm基片上...