用于光刻机的石英玻璃屏蔽罩

红外线加热与热风加热：如何缩短芯片加工时间 在芯片制造过程中，从使用热风加热切换到红外线加热，其实不仅仅是更换了一个部件而已。这实际上意味着改变了能量传递给晶圆的方式。 以热风为例，它的加热速度很慢。首先需要让空气升温，然后再让空气去加热晶圆表面。这种方式存在明显的延迟。而红外线加热则无需经过这一...