超导芯片制造灯

在制造车间里，当光阻在95°C下进行软烘烤时，温度可能会出现1.5°C的波动，这样一来，后续的光刻步骤中线宽控制就会受到影响。对于超导芯片的制造而言，这种温度波动不仅会导致良品率下降，还会导致整个生产流程失败。 技术上的关键点 我们设计的超导芯片制造用灯，其特点是具有可控的辐射加热功能以及出色的温...